Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546| Название: | Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током |
| Авторы: | Горюнов, Алексей Германович Курочкин, Владимир Александрович Чучалин, Иван Петрович Москалев, Владилен Александрович |
| Ключевые слова: | Siemens-реакторы; поликристаллический кремний; математическое моделирование; источники; переменный ток; системы автоматического управления |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током / А. Г. Горюнов [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 228-233]. |
| Аннотация: | Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546 |
| ISSN: | 1684-8519 |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf | 316,13 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.