Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546
Title: Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
Authors: Горюнов, Алексей Германович
Курочкин, Владимир Александрович
Чучалин, Иван Петрович
Москалев, Владилен Александрович
Keywords: Siemens-реакторы; поликристаллический кремний; математическое моделирование; источники; переменный ток; системы автоматического управления
Issue Date: 2012
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током / А. Г. Горюнов [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 228-233].
Abstract: Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546
ISSN: 1684-8519
Appears in Collections:Известия ТПУ

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf316,13 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.