Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45469Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Золкин, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Золкин, А. С. | ru |
| dc.contributor.author | Семенов, С. В. | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T04:09:57Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T04:09:57Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Золкин А. С. Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок / А. С. Золкин, С. В. Семенов ; науч. рук. А. С. Золкин // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 59-60]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45469 | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.relation.ispartof | Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск, 2017. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | электронные ресурсы | ru |
| dc.subject | магнетронное распыление | ru |
| dc.subject | источники напряжения | ru |
| dc.subject | ток | ru |
| dc.subject | источники питания | ru |
| dc.subject | амплитуда | ru |
| dc.subject | полупроводниковые приборы | ru |
| dc.title | Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок | ru |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 59 | - |
| local.description.lastpage | 60 | - |
| local.filepath | conference_tpu-2017-C17_p59-60.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\24560 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.conference.name | Высокие технологии в современной науке и технике | - |
| local.conference.date | 2017 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C17_p59-60.pdf | 661,21 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.