Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45469| Title: | Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок |
| Authors: | Золкин, А. С. Семенов, С. В. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Золкин, А. С. |
| Keywords: | электронные ресурсы; магнетронное распыление; источники напряжения; ток; источники питания; амплитуда; полупроводниковые приборы |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Золкин А. С. Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок / А. С. Золкин, С. В. Семенов ; науч. рук. А. С. Золкин // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 59-60]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45469 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2017-C17_p59-60.pdf | 661,21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.