Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546
Title: | Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током |
Authors: | Горюнов, Алексей Германович Курочкин, Владимир Александрович Чучалин, Иван Петрович Москалев, Владилен Александрович |
Keywords: | Siemens-реакторы; поликристаллический кремний; математическое моделирование; источники; переменный ток; системы автоматического управления |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | Томский политехнический университет |
Citation: | Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током / А. Г. Горюнов [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2012. — Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика. — [С. 228-233]. |
Abstract: | Рассмотрена проблема образования внутреннего градиента температуры в кремниевых стержнях во время парофазного химического осаждения поликристаллического кремния в Siemens-ректоре. Показаны способ и устройство с автоматической системой управления, позволяющие значительно снизить градиент температуры. С помощью математической модели разработана наиболее эффективная структура силовой части источника переменного тока и проверена устойчивость САУ источника. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/4546 |
ISSN: | 1684-8519 |
Appears in Collections: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
bulletin_tpu-2012-321-5-47.pdf | 316,13 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.