Исследование физико-механических свойств покрытий AlSiN

Abstract

Объектом исследования являются физико-механические свойства покрытия Al-Si-N. Цель работы: изучение влияния состава покрытия на его физико-механические свойства Проведены исследования физико-механических свойств покрытий состава Al-Si-N с разным содержанием азота. Исследовалось влияние содержания азота на катодолюминесценцию, твердость, адгезию покрытий. Показано, что содержание азота в большей мере влияет на механические свойства и в меньшей степени на люминесцентные свойства. Область применения: увеличение срока службы изделия, уменьшение коэффициента трения рабочей поверхности.

The object of the study is the physical and mechanical properties of the Al-Si-N coating. Objective: to study the influence of the coating composition on its physical and mechanical properties The physical and mechanical properties of Al-Si-N coatings with different nitrogen contents were studied. The effect of nitrogen content on cathodoluminescence, hardness, adhesion of coatings was investigated. It is shown that the nitrogen content largely affects the mechanical properties and, to a lesser extent, the luminescent properties. Scope: increasing the service life of the product, reducing.