1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГрудинин, Владислав Алексеевичru
dc.contributor.authorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorШабунин, Артём Сергеевичru
dc.contributor.authorБлейхер, Галина Алексеевнаru
dc.date.accessioned2018-12-05T06:13:50Z-
dc.date.available2018-12-05T06:13:50Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationВлияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью / В. А. Грудинин [и др.] // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 284-285].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofПерспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск, 2018.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectсамораспылениеru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectмедные покрытияru
dc.subjectмагнетроныru
dc.subjectмишениru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectскоростьru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectиспарениеru
dc.titleВлияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишеньюru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage284-
local.description.lastpage285-
local.filepathconference_tpu-2018-C125_p284-285.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\28841-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\42339-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34510-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\36799-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28948-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameПерспективные материалы конструкционного и медицинского назначения-
local.conference.date2018-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2018-C125_p284-285.pdf270,35 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record   Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.