Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924| Title: | Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью |
| Authors: | Грудинин, Владислав Алексеевич Сиделёв, Дмитрий Владимирович Шабунин, Артём Сергеевич Блейхер, Галина Алексеевна |
| Keywords: | самораспыление; осаждение; медные покрытия; магнетроны; мишени; магнетронные распылительные системы; скорость; покрытия; испарение |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью / В. А. Грудинин [и др.] // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 284-285]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2018-C125_p284-285.pdf | 270,35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.