Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Title: Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Authors: Грудинин, Владислав Алексеевич
Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Шабунин, Артём Сергеевич
Блейхер, Галина Алексеевна
Keywords: самораспыление; осаждение; медные покрытия; магнетроны; мишени; магнетронные распылительные системы; скорость; покрытия; испарение
Issue Date: 2018
Citation: Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью / В. А. Грудинин [и др.] // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 284-285].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File SizeFormat 
conference_tpu-2018-C125_p284-285.pdf270,35 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.