1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Название: Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Авторы: Грудинин, Владислав Алексеевич
Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Шабунин, Артём Сергеевич
Блейхер, Галина Алексеевна
Ключевые слова: самораспыление; осаждение; медные покрытия; магнетроны; мишени; магнетронные распылительные системы; скорость; покрытия; испарение
Дата публикации: 2018
Библиографическое описание: Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью / В. А. Грудинин [и др.] // Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2018. — [С. 284-285].
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2018-C125_p284-285.pdf270,35 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.