Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316| Название: | Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20 |
| Авторы: | Шевелев, Алексей Эдуардович |
| Научный руководитель: | Рябчиков, Александр Ильич |
| Ключевые слова: | —; авторефераты диссертаций; формирование; высокоинтенсивные пучки; ионы металлов; низкие энергии; плазма; вакуумные дуги; заряженные частицы; ионная имплантация; элементный состав; приповерхностные слои; плазменно-иммерсионное формирование; вакуумно-дуговые разряды; транспортировка; фокусировка; вакуумно-дуговая плазма; низкие энергии |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Шевелев А. Э. Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. Э. Шевелев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2019. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/53316 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2019-09.pdf | 1,22 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.