1. Электронный архив ТПУ
  2. Образование
  3. Студенческие работы
  4. Магистерские диссертации
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorШестериков, Евгений Викторовичru
dc.contributor.authorРогожников, Дмитрий Сергеевичru
dc.date.accessioned2019-06-11T02:12:18Z-
dc.date.available2019-06-11T02:12:18Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationРогожников Д. С. Разработка технологии изготовления скрытого мостового соединения проводников в производстве гибридных интегральных схем : магистерская диссертация / Д. С. Рогожников ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Е. В. Шестериков. — Томск, 2019.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642-
dc.description.abstractРазработка технологии изготовления скрытого мостового соединения, в котором вначале формируется перемычка, затем диэлектрический слой с окнами под соединение с проводниками и формирование топологии схемы, в которой проводники соединяются с помощью мостового соединения.ru
dc.description.abstractDevelopment of technology for manufacturing hidden bridge connection. The method based on the following operations: a jumper is formed, and then a dielectric layer with windows for connecting leads and forming a circuit topology in which electrical conductors are connected using a bridge junction.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectмостовое соединениеru
dc.subjectконтактная фотолитографияru
dc.subjectгибридные интегральные схемыru
dc.subjectдиоксид кремнияru
dc.subjectоксид алюминияru
dc.subjecta bridge connectionen
dc.subjectcontact photolithographyen
dc.subjecthybrid integrated circuitsen
dc.subjectsilicon dioxideen
dc.subjectaluminum oxideen
dc.titleРазработка технологии изготовления скрытого мостового соединения проводников в производстве гибридных интегральных схемru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)-
local.institut7863-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk16.04.01-
local.thesis.levelМагистрru
local.thesis.disciplineТехническая физика-
local.local-vkr-id560274-
local.vkr-id38101-
local.stud-group0ДМ71-
local.lichnost-id162615-
local.thesis.level-id3-
local.tutor-lichnost-id119598-
dc.subject.udc621.382.049.776.002-
Appears in Collections:Магистерские диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
TPU729213.pdf3,21 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record   Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.