Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642| Название: | Разработка технологии изготовления скрытого мостового соединения проводников в производстве гибридных интегральных схем |
| Авторы: | Рогожников, Дмитрий Сергеевич |
| Научный руководитель: | Шестериков, Евгений Викторович |
| Ключевые слова: | мостовое соединение; контактная фотолитография; гибридные интегральные схемы; диоксид кремния; оксид алюминия; a bridge connection; contact photolithography; hybrid integrated circuits; silicon dioxide; aluminum oxide |
| Дата публикации: | 2019 |
| Библиографическое описание: | Рогожников Д. С. Разработка технологии изготовления скрытого мостового соединения проводников в производстве гибридных интегральных схем : магистерская диссертация / Д. С. Рогожников ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Е. В. Шестериков. — Томск, 2019. |
| Аннотация: | Разработка технологии изготовления скрытого мостового соединения, в котором вначале формируется перемычка, затем диэлектрический слой с окнами под соединение с проводниками и формирование топологии схемы, в которой проводники соединяются с помощью мостового соединения. Development of technology for manufacturing hidden bridge connection. The method based on the following operations: a jumper is formed, and then a dielectric layer with windows for connecting leads and forming a circuit topology in which electrical conductors are connected using a bridge junction. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642 |
| Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU729213.pdf | 3,21 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.