Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Сиделёв, Дмитрий Владимирович | ru |
| dc.contributor.author | Бельгебаева, Д. Е. | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-09-25T04:48:06Z | - |
| dc.date.available | 2019-09-25T04:48:06Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Бельгебаева Д. Е. Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния / Д. Е. Бельгебаева ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 64-66]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800 | - |
| dc.description.abstract | Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range. | en |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Изд-во ТПУ | ru |
| dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. Т. 1 : Физика. — Томск, 2019. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | мишени | ru |
| dc.subject | магнетронные диоды | ru |
| dc.subject | оптические свойства | ru |
| dc.subject | пленки | ru |
| dc.subject | кремний | ru |
| dc.subject | оптические свойства | ru |
| dc.title | Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния | ru |
| dc.title.alternative | Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film | en |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 64 | - |
| local.description.lastpage | 66 | - |
| local.filepath | conference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\30376 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.volume | 1 | - |
| local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | - |
| local.conference.date | 2019 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf | 277,1 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.