Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800| Название: | Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния |
| Другие названия: | Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film |
| Авторы: | Бельгебаева, Д. Е. |
| Научный руководитель: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Ключевые слова: | мишени; магнетронные диоды; оптические свойства; пленки; кремний; оптические свойства |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Изд-во ТПУ |
| Библиографическое описание: | Бельгебаева Д. Е. Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния / Д. Е. Бельгебаева ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2019. — Т. 1 : Физика. — [С. 64-66]. |
| Аннотация: | Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2019-C21_V1_p64-66.pdf | 277,1 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.