High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering

Sidelev, Dmitry Vladimirovich; Bleykher, Galina Alekseevna; Grudinin, Vladislav Alekseevich; Krivobokov, Valery Pavlovich; Bestetti, Massimiliano

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Sidelev, Dmitry Vladimirovich	en
dc.contributor.author	Bleykher, Galina Alekseevna	en
dc.contributor.author	Grudinin, Vladislav Alekseevich	en
dc.contributor.author	Krivobokov, Valery Pavlovich	en
dc.contributor.author	Bestetti, Massimiliano	en
dc.date.accessioned	2020-01-31T09:23:56Z	-
dc.date.available	2020-01-31T09:23:56Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.citation	High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering / D. V. Sidelev [et al.] // Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia : abstracts. — Tomsk : TPU Publishing House, 2019. — [С. 192].	en
dc.identifier.uri	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740	-
dc.language.iso	en	en
dc.relation.ispartof	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2019.	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	en
dc.subject	высокоскоростное осаждение	ru
dc.subject	хромовые покрытия	ru
dc.subject	магнетронное распыление	ru
dc.subject	мишени	ru
dc.subject	подложки	ru
dc.title	High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferencePaper	en
dcterms.audience	Researches	en
local.description.firstpage	192	-
local.filepath	conference_tpu-2019-C108_p192.pdf	-
local.identifier.bibrec	RU\TPU\conf\32436	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\34524	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\31496	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\42519	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\30416	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\37134	-
local.localtype	Доклад	ru
local.conference.name	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)	-
local.conference.date	2019	-
Располагается в коллекциях:	Материалы конференций

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
conference_tpu-2019-C108_p192.pdf		458,94 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.