Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/59858
Title: | Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства |
Authors: | Сунь, Чжилэй |
metadata.dc.contributor.advisor: | Пичугин, Владимир Федорович |
Keywords: | оксинитрид титана; магнетронное распыление; фазовый переход; запрещенная зона; смачиваемость; titanium oxynitride; magnetron sputtering; phase transition; band gap; wettability |
Issue Date: | 2020 |
Citation: | Сунь Ч. Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : научный доклад / Ч. Сунь ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Управление магистратуры, аспирантуры и докторантуры (УМАД), Отдел аспирантуры и докторантуры (ОАиД) ; науч. рук. В. Ф. Пичугин. — Томск, 2020. |
Abstract: | Исследование влияния легирование азотом и поседующего отжига на фазовый состав, запрещенную зону и смачиваемость пленки оксида титана. Investigation of the effect of nitrogen doping and subsequent annealing on the phase composition, band gap, and wettability of titanium oxide film. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/59858 |
Appears in Collections: | Научные доклады |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU909210.pdf | 134,44 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.