Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/60535| Название: | Травление углеродных плёнок с помощью индуктивно-связанного источника плазмы |
| Авторы: | Галин, Ярослав Сергеевич |
| Научный руководитель: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Ключевые слова: | травление; углерод; индуктивно-связанный источник; аргон; водород; etching; carbon; inductively coupled source; argon; hydrogen |
| Дата публикации: | 2020 |
| Библиографическое описание: | Галин Я. С. Травление углеродных плёнок с помощью индуктивно-связанного источника плазмы : дипломный проект / Я. С. Галин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2020. |
| Аннотация: | Исследования выполнены в рамках работ по созданию новой технологии восстановления функциональных свойств материалов. The research was carried out as part of the development of new technologies for the restoration of the functional properties of materials. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/60535 |
| Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU923345.pdf | 2,03 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.