1. Электронный архив ТПУ
  2. Образование
  3. Студенческие работы
  4. Выпускные квалификационные работы (ВКР)
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/60535
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorГалин, Ярослав Сергеевичru
dc.date.accessioned2020-06-08T16:27:10Z-
dc.date.available2020-06-08T16:27:10Z-
dc.date.issued2020-
dc.identifier.citationГалин Я. С. Травление углеродных плёнок с помощью индуктивно-связанного источника плазмы : дипломный проект / Я. С. Галин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2020.-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/60535-
dc.description.abstractИсследования выполнены в рамках работ по созданию новой технологии восстановления функциональных свойств материалов.ru
dc.description.abstractThe research was carried out as part of the development of new technologies for the restoration of the functional properties of materials.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectтравлениеru
dc.subjectуглеродru
dc.subjectиндуктивно-связанный источникru
dc.subjectаргонru
dc.subjectводородru
dc.subjectetchingen
dc.subjectcarbonen
dc.subjectinductively coupled sourceen
dc.subjectargonen
dc.subjecthydrogenen
dc.titleТравление углеродных плёнок с помощью индуктивно-связанного источника плазмыru
dc.typeStudents work-
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга)-
local.institut7863-
local.localtypeСтуденческая работа-
dc.subject.oksvnk16.04.01-
local.thesis.levelМагистрru
local.thesis.disciplineТехническая физика-
local.local-vkr-id756306-
local.vkr-id42822-
local.stud-group0ДМ81-
local.lichnost-id167129-
local.thesis.level-id3-
local.tutor-lichnost-id156313-
dc.subject.udc621.794.4:539.23-
Располагается в коллекциях:Выпускные квалификационные работы (ВКР)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
TPU923345.pdf2,03 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.