Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131
Название: Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Авторы: Худайбергенов, Гамзат Жапарович
Научный руководитель: Струнин, Владимир Иванович
Ключевые слова: физика; аморфный кремний; гидрогенизированный кремний; тонкие пленки; осаждение; газовые разряды; аргон-силановая плазма; электроны; распределение; ВЧЕ разряд; химический состав; моделирование; авторефераты диссертаций
Дата публикации: 2003
Библиографическое описание: Худайбергенов Г. Ж. Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч.рук.: В. И. Струнин. — Омск, 2003. — 24 с. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6131
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2003-92.pdf501,79 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.