1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6183
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСмирнов, Серафим Всеволодовичru
dc.contributor.authorЧистоедова, Инна Анатольевнаru
dc.date.accessioned2015-12-02T04:05:31Z-
dc.date.available2015-12-02T04:05:31Z-
dc.date.issued2005-
dc.identifier.citationЧистоедова И. А. Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук.: С. В. Смирнов. — Томск, 2005. — 19 с. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/6183-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectхимическая технологияru
dc.subjectтанталru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectполучениеru
dc.subjectструктураru
dc.subjectсвойстваru
dc.subjectоборудованиеru
dc.subjectисследованияru
dc.subjectионно-плазменное распылениеru
dc.subjectсоединения танталаru
dc.subjectмодификацияru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.titleПолифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наукru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2005/1.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\83143-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk05.17.11-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineТехнология силикатных и тугоплавких неметаллических материаловru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2005-1.pdf418,42 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.