???jsp.display-item.identifier???
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183| ???metadata.dc.title???: | Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями |
| ???metadata.dc.contributor.author???: | Блейхер, Галина Алексеевна Кривобоков, Валерий Павлович Сиделёв, Дмитрий Владимирович Грудинин, Владислав Алексеевич Попов, Р. В. |
| ???metadata.dc.subject???: | самораспыление; магнетронные распылительные системы; металлические мишени; покрытия; осаждение |
| ???metadata.dc.date.issued???: | 2020 |
| ???metadata.dc.identifier.citation???: | Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, Д. В. Сиделёв [и др.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров : сборник научных трудов X Международной научно-практической конференции, г. Томск, 09 – 11 сентября 2020 г. — Томск : Ветер, 2020. — [С. 22]. |
| ???metadata.dc.identifier.uri???: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63183 |
| ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.appears??? | Материалы конференций |
???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.files???
| ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.file??? | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.description??? | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.filesize??? | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.fileformat??? | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C49_V1_p21-22.pdf | 569,5 kB | Adobe PDF | ???org.dspace.app.webui.jsptag.ItemTag.view??? |
???jsp.display-item.text3??? ???jsp.display-item.license???
