Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824
Title: Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий
Authors: Ломыгин, Антон
Лаптев, Роман Сергеевич
Шулепов, Иван Анисимович
Keywords: коррекция; профили; интенсивность; распыление; неравномерность; оптический спектрометр; тлеющие разряды; многослойные покрытия; магнетронное распыление; элементы; эрозия
Issue Date: 2020
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Ломыгин А. Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий / А. Ломыгин, Р. С. Лаптев, И. А. Шулепов // Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 21–25 сентября 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2020. — [С. 51-52].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63824
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2020-C125_p51-52.pdf605,34 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.