Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631| Title: | Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий |
| Other Titles: | Analysis of the capabilities of magnetron sputtering systems for high-rate deposition of functional coatings |
| Authors: | Блейхер, Галина Алексеевна Кривобоков, Валерий Павлович Юрьева, Алена Викторовна |
| Keywords: | магнетронные распылительные системы; высокоскоростное осаждение; функциональные покрытия; эрозия; жидкометаллические мишени; плазма; металлические покрытия; магнетроны |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Блейхер Г. А. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Современные технологии, экономика и образование : сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2020. — [С. 51-52]. |
| Abstract: | The mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C128_p51-52.pdf | 181,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.