Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631| Название: | Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий |
| Другие названия: | Analysis of the capabilities of magnetron sputtering systems for high-rate deposition of functional coatings |
| Авторы: | Блейхер, Галина Алексеевна Кривобоков, Валерий Павлович Юрьева, Алена Викторовна |
| Ключевые слова: | магнетронные распылительные системы; высокоскоростное осаждение; функциональные покрытия; эрозия; жидкометаллические мишени; плазма; металлические покрытия; магнетроны |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Блейхер Г. А. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий / Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева // Современные технологии, экономика и образование : сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2020. — [С. 51-52]. |
| Аннотация: | The mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2020-C128_p51-52.pdf | 181,89 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.