1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСтепанов, Игорь Борисовичru
dc.date.accessioned2015-12-02T04:08:04Z-
dc.date.available2015-12-02T04:08:04Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationСтепанов И. Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : спец. 01.04.20 / И. Б. Степанов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. конс. А. И. Рябчиков. — Томск, 2010. — 44 с. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectЭлектронно-ионная технологияru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.subjectматериалыru
dc.subjectимпульсно-периодическая ионная обработкаru
dc.subjectионно-плазменная обработкаru
dc.subjectионно-лучевая обработкаru
dc.subjectметодыru
dc.subjectоборудованиеru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectочисткаru
dc.subjectвакуумно-дуговой разрядru
dc.subjectионыru
dc.subjectисточникиru
dc.subjectисследованиеru
dc.subjectразработкаru
dc.subjectвакуумная дугаru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectионная имплантацияru
dc.subjectкомбинированные технологииru
dc.titleОборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: спец. 01.04.20ru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/74.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\204098-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\15902-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\26466-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk01.04.20-
local.thesis.levelДоктор наукru
local.thesis.degreeДоктор технических наукru
local.thesis.disciplineФизика пучков заряженных частиц и ускорительная техникаru
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
thesis_tpu-2010-74.pdf3,98 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.