Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615| Title: | Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: спец. 01.04.20 |
| Authors: | Степанов, Игорь Борисович |
| Keywords: | Электронно-ионная технология; авторефераты диссертаций; материалы; импульсно-периодическая ионная обработка; ионно-плазменная обработка; ионно-лучевая обработка; методы; оборудование; плазма; очистка; вакуумно-дуговой разряд; ионы; источники; исследование; разработка; вакуумная дуга; покрытия; осаждение; ионная имплантация; комбинированные технологии |
| Issue Date: | 2010 |
| Citation: | Степанов И. Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : спец. 01.04.20 / И. Б. Степанов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. конс. А. И. Рябчиков. — Томск, 2010. — 44 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-74.pdf | 3,98 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.