Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615| Название: | Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: спец. 01.04.20 |
| Авторы: | Степанов, Игорь Борисович |
| Ключевые слова: | Электронно-ионная технология; авторефераты диссертаций; материалы; импульсно-периодическая ионная обработка; ионно-плазменная обработка; ионно-лучевая обработка; методы; оборудование; плазма; очистка; вакуумно-дуговой разряд; ионы; источники; исследование; разработка; вакуумная дуга; покрытия; осаждение; ионная имплантация; комбинированные технологии |
| Дата публикации: | 2010 |
| Библиографическое описание: | Степанов И. Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : спец. 01.04.20 / И. Б. Степанов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. конс. А. И. Рябчиков. — Томск, 2010. — 44 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-74.pdf | 3,98 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.