Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6623| Название: | Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.01 |
| Авторы: | Ляпунов, Данил Юрьевич |
| Научный руководитель: | Бекишев, Рудольф Фридрихович |
| Ключевые слова: | Преобразователи перемещений ёмкостные; авторефераты диссертаций; микроэлектромеханические системы; емкостные преобразователи; материаловедение; математическое моделирование; экспериментальные исследования |
| Дата публикации: | 2010 |
| Библиографическое описание: | Ляпунов Д. Ю. Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.01 / Д. Ю. Ляпунов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010. — 21 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6623 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-81.pdf | 1,05 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.