1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorБекишев, Рудольф Фридриховичru
dc.contributor.authorНечаев, Михаил Анатольевичru
dc.date.accessioned2015-12-02T04:08:11Z-
dc.date.available2015-12-02T04:08:11Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationНечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.03 / М. А. Нечаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectМагнетроныru
dc.subjectПлазменное напыление — Физико-химические процессыru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.subjectмагнетронные вакуумные установкиru
dc.subjectсканированиеru
dc.subjectэлектроприводыru
dc.subjectсистемы управленияru
dc.subjectимитационное моделированиеru
dc.subjectразработкаru
dc.subjectэкспериментальные исследованияru
dc.titleРазработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.03ru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\204509-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\15902-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk05.09.03-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineЭлектротехнические комплексы и системыru
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
thesis_tpu-2010-91.pdf643,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.