Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Бекишев, Рудольф Фридрихович | ru |
dc.contributor.author | Нечаев, Михаил Анатольевич | ru |
dc.date.accessioned | 2015-12-02T04:08:11Z | - |
dc.date.available | 2015-12-02T04:08:11Z | - |
dc.date.issued | 2010 | - |
dc.identifier.citation | Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.03 / М. А. Нечаев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | Магнетроны | ru |
dc.subject | Плазменное напыление — Физико-химические процессы | ru |
dc.subject | авторефераты диссертаций | ru |
dc.subject | магнетронные вакуумные установки | ru |
dc.subject | сканирование | ru |
dc.subject | электроприводы | ru |
dc.subject | системы управления | ru |
dc.subject | имитационное моделирование | ru |
dc.subject | разработка | ru |
dc.subject | экспериментальные исследования | ru |
dc.title | Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.03 | ru |
dc.type | Thesis | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/authorVersion | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2010/91.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\204509 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\15902 | - |
local.localtype | Автореферат диссертации | ru |
dc.subject.oksvnk | 05.09.03 | - |
local.thesis.level | Кандидат наук | ru |
local.thesis.degree | Кандидат технических наук | ru |
local.thesis.discipline | Электротехнические комплексы и системы | ru |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
thesis_tpu-2010-91.pdf | 643,17 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.