Применение численного моделирования для определения параметров высокоинтенсивных пучков ионов и расчета температурных полей в мишенях под их воздействием

Abstract

В данной работе на основании экспериментальных данных были получены параметры высокоинтенсивных пучков ионов азота. Численным моделированием проведено исследование динамики формирования температурных градиентов по глубине металлических мишеней из Ti и Al в процессе имплантации высокоинтенсивными пучками ионов газа азота в условиях принудительного охлаждения необлучаемой стороны мишени.

In this work, on the basis of experimental data, the parameters of high-intensity beams of nitrogen ions were obtained. The dynamics of the formation of temperature gradients along the depth of Ti and Al metal targets in the process of implantation with high-intensity beams of nitrogen gas ions under conditions of forced cooling of the non-irradiated side of the target has been studied by numerical simulation.