Формирование биоактивных покрытий методом реактивного ВЧ-магнетронного распыления гидроксиапатита в смеси различных рабочих газов

Abstract

Данная работа исследует кальцийфосфатные покрытия, осажденные методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления гидроксиапатита в атмосфере газовых смесей Ne + N2, Ar + N2 и Xe + N2 при равных объемных концентрациях, с целью изучения возможности влияния на свойства покрытий путём изменения атомной массы рабочего газа

This work study calcium phosphate coatings deposited by the method of reactive high-frequency magnetron sputtering of hydroxyapatite in an atmosphere of gas mixtures of Ne + N2, Ar + N2 and Xe + N2 at equal volume concentrations, in order to investigate the possibility of influencing the properties of coatings by changing the atomic mass of the working gas