Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67812
Title: Защитные покрытия ZrYO/AlSiN
Authors: Ван Синьсинь
У Шаша
metadata.dc.contributor.advisor: Божко, Ирина Александровна
Keywords: защитные покрытия; оптические свойства; механические свойства; импульсное магнетронное распыление; монокристаллы; кремний
Issue Date: 2021
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Ван Синьсинь. Защитные покрытия ZrYO/AlSiN / Ван Синьсинь, У Шаша ; науч. рук. И. А. Божко // Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов : сборник докладовI Международной научно-практической конференции, Томск, 27-29 апреля 2021 г. : в 2 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2021. — Т. 1. — [С. 89-92].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/67812
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2021-C19_V1_p89-92.pdf821,19 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.