Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6871| Title: | Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07 |
| Authors: | Линник, Степан Андреевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Ремнев, Геннадий Ефимович |
| Keywords: | Алмазы синтетические; авторефераты диссертаций; поликристаллические алмазные пленки; свойства; применение; синтез; аномальный тлеющий разряд; плазма; оптико-эмиссионная спектроскопия; осаждение |
| Issue Date: | 2013 |
| Citation: | Линник С. А. Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / С. А. Линник ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2013. — 24 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6871 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2013-40.pdf | 2,56 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.