Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69044
Название: | Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы |
Авторы: | Мюсова, А. Е. Луценко, Юрий Юрьевич |
Научный руководитель: | Луценко, Юрий Юрьевич |
Ключевые слова: | пленки; нитрид титана; легкоплавкие материалы; диэлектрические материалы; плазмотроны |
Дата публикации: | 2021 |
Издатель: | Томский политехнический университет |
Библиографическое описание: | Мюсова, А. Е. Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы / А. Е. Мюсова, Ю. Ю. Луценко ; науч. рук. Ю. Ю. Луценко // Изотопы: технологии, материалы и применение : сборник тезисов докладов VII Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 25-28 октября 2021 г. — Томск : ТПУ, 2021. — [С. 76]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69044 |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2021-C84_p76.pdf | 272,06 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.