1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСурменев, Роман Анатольевичru
dc.contributor.authorМухаметкалиев, Тимур Мухамедрашидовичru
dc.contributor.authorМельников, Евгений Сергеевичru
dc.date.accessioned2022-03-15T05:44:09Z-
dc.date.available2022-03-15T05:44:09Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationМухаметкалиев, Т. М. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра / Т. М. Мухаметкалиев, Е. С. Мельников ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 75].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofФункциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectотрицательное смещениеru
dc.subjectподложкиru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectВЧ-распылениеru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectзонды Ленгмюраru
dc.titleИсследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюраru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage75-
local.filepathconference_tpu-2014-C96_p75.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\9420-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\32477-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34111-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameФункциональные материалы: разработка, исследование, применениеru
local.conference.date2014-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C96_p75.pdf255,29 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика   Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.