Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075| Название: | Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра |
| Авторы: | Мухаметкалиев, Тимур Мухамедрашидович Мельников, Евгений Сергеевич |
| Научный руководитель: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Ключевые слова: | отрицательное смещение; подложки; плазма; ВЧ-распыление; магнетронное распыление; зонды Ленгмюра |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Мухаметкалиев, Т. М. Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра / Т. М. Мухаметкалиев, Е. С. Мельников ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Функциональные материалы: разработка, исследование, применение : сборник тезисов докладов II Всероссийского конкурса научных докладов студентов, г.Томск, г.Тамбов, 22-23 мая 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 75]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/70075 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C96_p75.pdf | 255,29 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.