Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71766| Title: | Моделирование формирования металлических покрытий при работе магнетронных распылительных систем |
| Authors: | Оруджов, Эльвин Эльшад оглы |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Блейхер, Галина Алексеевна |
| Keywords: | магнетронное распыление; моделирование; покрытия; испаряющаяся мишень; морфология; структура; magnetron sputtering; modeling; coatings; liquid target; morphology; structure |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Оруджов Э. Э. Моделирование формирования металлических покрытий при работе магнетронных распылительных систем : бакалаврская работа / Э. Э. Оруджов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение ядерно-топливного цикла (ОЯТЦ) ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2022. |
| Abstract: | Выявление особенностей формирования структуры и морфологии металлических покрытий при магнетронном распылении испаряющихся мишеней на примере осаждения алюминия Discovering the features of structure and morphology formation of metal coatings formed by liquid target magnetron sputtering on the example of aluminium deposition |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71766 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы (ВКР) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1369116.pdf | 1,49 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.