Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193
Название: | Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20 |
Авторы: | Бумагина, Анна Ивановна |
Научный руководитель: | Рябчиков, Александр Ильич |
Ключевые слова: | Электрический разряд; авторефераты диссертаций; физика; вакуумные дуги; импульсно-периодический потенциал; мишени; смещения; смещения; плазма; фильтрация; ионно-плазменное осаждение; покрытия; ионно-плазменная обработка; металлы; имплантация; вакуумно-дуговая плазма; микрокапельная фракция |
Дата публикации: | 2015 |
Библиографическое описание: | Бумагина А. И. Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. И. Бумагина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Лаборатория № 22 ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2015. — 19 с. : ил. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193 |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
thesis_tpu-2015-72.pdf | 3,96 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.