Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193
Title: Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20
Authors: Бумагина, Анна Ивановна
metadata.dc.contributor.advisor: Рябчиков, Александр Ильич
Keywords: Электрический разряд; авторефераты диссертаций; физика; вакуумные дуги; импульсно-периодический потенциал; мишени; смещения; смещения; плазма; фильтрация; ионно-плазменное осаждение; покрытия; ионно-плазменная обработка; металлы; имплантация; вакуумно-дуговая плазма; микрокапельная фракция
Issue Date: 2015
Citation: Бумагина А. И. Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения : автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.20 / А. И. Бумагина ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Физико-технический институт (ФТИ), Лаборатория № 22 ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2015. — 19 с. : ил.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
thesis_tpu-2015-72.pdf3,96 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.