Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700| Название: | Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 |
| Авторы: | Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Научный руководитель: | Блейхер, Галина Алексеевна |
| Ключевые слова: | Твердые тела — Распыление; Плазменная металлизация; диссертации; высокоскоростное осаждение; твердые покрытия; соединения; хром; азот; плазма; магнетронные распылительные системы; нитриды металлов; оксиды металлов; мишени; математические модели; магнетроны; элементный состав; кристаллические структуры; функциональные свойства; микротвердость; упругость; коррозионная стойкость |
| Дата публикации: | 2022 |
| Библиографическое описание: | Грудинин, В. А. Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / В. А. Грудинин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. Г. А. Блейхер. — Томск, 2022. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/73700 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dis00531.pdf | 11,06 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.