Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410| Название: | Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления |
| Авторы: | Рунц, А. А. Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Ключевые слова: | осаждение; тонкопленочные покрытия; люминесцентные покрытия; магнетронное распыление; люминофоры; технологические параметры; отжиг; свойства |
| Дата публикации: | 2022 |
| Библиографическое описание: | Рунц, А. А. Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления / А. А. Рунц, В. А. Грудинин // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 22-25 ноября 2022 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2022. — [С. 180-182]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C45_p180-182.pdf | 110,38 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
