Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410
Title: | Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления |
Authors: | Рунц, А. А. Грудинин, Владислав Алексеевич |
Keywords: | осаждение; тонкопленочные покрытия; люминесцентные покрытия; магнетронное распыление; люминофоры; технологические параметры; отжиг; свойства |
Issue Date: | 2022 |
Citation: | Рунц, А. А. Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления / А. А. Рунц, В. А. Грудинин // Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 22-25 ноября 2022 г. — Томск : Томский политехнический университет, 2022. — [С. 180-182]. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74410 |
Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2022-C45_p180-182.pdf | 110,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.