Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74890
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Sedov, Vadim | en |
dc.contributor.author | Popovich, Alexey | en |
dc.contributor.author | Linnik, Stepan Andreevich | en |
dc.contributor.author | Martyanov, Artem | en |
dc.contributor.author | Wei, Junjun | en |
dc.contributor.author | Zenkin, Sergey Petrovich | en |
dc.contributor.author | Zavedeev, Evgeny | en |
dc.contributor.author | Savin, Sergey | en |
dc.contributor.author | Gaydaychuk, Alexander Valerievich | en |
dc.contributor.author | Li, Chengming | en |
dc.contributor.author | Ralchenko, Victor | en |
dc.contributor.author | Konov, Vitaly | en |
dc.date.accessioned | 2023-03-28T09:20:18Z | - |
dc.date.available | 2023-03-28T09:20:18Z | - |
dc.date.issued | 2023 | - |
dc.identifier.citation | Combined HF+MW CVD Approach for the Growth of Polycrystalline Diamond Films with Reduced Bow / V. Sedov, A. Popovich, S. A. Linnik [et al.] // Coatings. — 2023. — Vol. 13, iss. 2. — [380, 10 p.]. | en |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74890 | - |
dc.description.abstract | A combination of two methods of chemical vapor deposition (CVD) of diamond films, microwave plasma–assisted (MW CVD) and hot filament (HF CVD), was used for the growth of 100 µm-thick polycrystalline diamond (PCD) layers on Si substrates. The bow of HF CVD and MW CVD films showed opposite convex\concave trends; thus, the combined material allowed reducing the overall bow by a factor of 2–3. Using MW CVD for the growth of the initial 25 µm-thick PCD layer allowed achieving much higher thermal conductivity of the combined 110 µm-thick film at 210 W/m?K in comparison to 130 W/m?K for the 93 µm-thick pure HF CVD film. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | en | en |
dc.publisher | MDPI AG | en |
dc.relation.ispartof | Coatings. 2023. Vol. 13, iss. 2 | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.rights | Attribution-NonCommercial 4.0 International | en |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ | - |
dc.source | Coatings | en |
dc.subject | алмаз | ru |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | химическое осаждение | ru |
dc.subject | микроволновая плазма | ru |
dc.subject | теплопроводность | ru |
dc.subject | рамановская спектроскопия | ru |
dc.subject | diamond | en |
dc.subject | thin film | en |
dc.subject | chemical vapor deposition | en |
dc.subject | microwave plasma | en |
dc.subject | thermal conductivity | en |
dc.subject | Raman spectroscopy | en |
dc.title | Combined HF+MW CVD Approach for the Growth of Polycrystalline Diamond Films with Reduced Bow | en |
dc.type | Article | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 380 | - |
local.filepath | reprint-nw-40496.pdf | - |
local.filepath | https://doi.org/10.3390/coatings13020380 | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\network\40496 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32877 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\41880 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\32876 | - |
local.issue | 2 | - |
local.localtype | Статья | ru |
local.volume | 13 | - |
dc.identifier.doi | 10.3390/coatings13020380 | - |
Располагается в коллекциях: | Репринты научных публикаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
reprint-nw-40496.pdf | 713,29 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.