Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75670
Title: | Влияние параметров осаждения на структуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N при использовании среднечастотного импульсного магнетронного распыления |
Authors: | Гаранин, Юрий |
metadata.dc.contributor.advisor: | Шугуров, Артур Рубинович |
Keywords: | импульсное среднечастотное магнетронное распыление; покрытия Ti-Al-Ta-N; микроструктура; механические характеристики; износостойкость; pulsed middle-frequency magnetron sputtering; Ti-Al-Ta-N coatings; microstructure; mechanical characteristics; wear resistance |
Issue Date: | 2023 |
Citation: | Гаранин Ю. Влияние параметров осаждения на структуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N при использовании среднечастотного импульсного магнетронного распыления : магистерская диссертация / Ю. Гаранин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. Р. Шугуров. — Томск, 2023. |
Abstract: | В работе исследовано влияние импульсного среднечастотного магнетронного распыления на микроструктуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N. Установлено, что применение импульсного режима магнетронного распыления позволяет подавить рост столбчатой микроструктуры, что обуславливает повышение механических и трибологических характеристик в покрытиях Ti-Al-Ta-N The influence of pulsed middle-frequency magnetron sputtering on the microstructure and functional properties of Ti-Al-Ta-N coatings has been studied. It has been established that the use of a pulsed mode of magnetron sputtering makes it possible to suppress the growth of a columnar microstructure, which leads to an increase in mechanical and tribological characteristics in Ti-Al-Ta-N coatings. |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75670 |
Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
TPU1464267.pdf | 4,94 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.