Исследование потоков частиц и формирование элементного состава CrAlNx покрытий с использованием магнетронных распылительных систем

Abstract

В данной выпускной квалификационной работе рассчитаны потоки энергии и частиц, поступающие на растущее покрытие при осаждении в режиме планетарного вращения подложки, проведены эксперименты по нанесению Cr-Al-Nx покрытий с помощью магнетронной распылительной системы. В результате исследования была изучена кинетика формирования потоков частиц, разработана методика для расчёта потоков частиц и энергии, поступающих на растущее покрытие при планетарном вращении подложек, выбран наиболее подходящий режим осаждения с точки зрения обеспечения высокой твёрдости формируемых Cr-Al-Nx покрытий.

In this paper, the energy and particle fluxes arriving at the growing coating during deposition in the mode of planetary rotation of the substrate were calculated, experiments on the application of Cr-Al-Nx coatings using a magnetron sputtering system are carried out. As a result of the study, the kinetics of the formation of particle fluxes was studied, a technique was developed for calculating the particle fluxes and energy entering the growing coating during the planetary rotation of the substrates, the most suitable deposition mode was selected from the point of view of ensuring high hardness of the Cr-Al-Nx coatings formed.