Исследование влияния режимов перемещения подложки на свойства металлических покрытий, осаждаемых методом магнетронного распыления

Abstract

Объектом исследования является влияние режимов перемещения подложек на характеристики осаждаемых покрытий при использовании магнетронных распылительных систем. Цель работы – изучение влияния параметров перемещения подложек на характеристики металлических покрытий при магнетронном осаждении. В результате работы разработан программный код позволяющий провести расчёт плотности потока распыляемых и осаждаемых частиц, получены экспериментальные данные о свойствах покрытий в зависимости от режима перемещения подложки.

The object of this study is to investigate the effect of substrate movement modes on the characteristics of deposited coatings using magnetron sputtering systems. The aim of this work is to study the influence of substrate movement parameters on the characteristics of metallic coatings during magnetron deposition. As a result of the work, a software code has been developed for calculating the density of sputtered and deposited particle flux. Experimental data on the properties of coatings depending on the mode of substrate movement were obtained.