Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76228| Title: | Исследование свойств сегнетоэлектрических покрытий системы Ba-Ca-Zr-Ti-O, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления |
| Authors: | Игнатов, Александр Алексеевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Keywords: | тонкие плёнки; сегнетоэлектрик; сегнетоэлектрический конденсатор; титанат-цирконат бария кальция; высокочастотное магнетронное распыление; thi films; ferroelectric; energy storage; magnetron sputtering; BCZT |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Игнатов А. А. Исследование свойств сегнетоэлектрических покрытий системы Ba-Ca-Zr-Ti-O, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : магистерская диссертация / А. А. Игнатов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Р. А. Сурменев. — Томск, 2022. |
| Abstract: | Исследование свойств тонких сегнетоэлектрических плёнок BCZT в зависимости от параметров режима осаждения высокочастотного магнетронного распыления Investigation of the properties of thin ferroelectric BCZT films depending on the parameters of the deposition mode of high-frequency magnetron sputtering |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76228 |
| Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1468980.pdf | 1,82 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.