Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией

Abstract

Цель работы - исследовать зависимость температуры плазмы и атмосферы вакуумной камеры в зоне подложкодержателя от состава газовой смеси. В результате работы были получены кривые гистерезиса реактивного магнетронного разряда, было показано влияние напускаемого газа на температуру плазмы, а также верифицирован метод оценки температуры из соотношения расхода газа и давления.

The purpose of this work is to investigate the dependence of the plasma temperature and atmosphere of the vacuum chamber in the area of the substrate holder on the composition of the gas mixture. As a result of the work, hysteresis curves of the reactive magnetron discharge were obtained, the effect of the injected gas on the plasma temperature was shown, and the method for estimating the temperature from the ratio of gas flow and pressure was verified.