Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973| Название: | Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 |
| Авторы: | Прокопьев, Айсен Русланович |
| Научный руководитель: | Неустроев, Ефим Петрович |
| Ключевые слова: | Углеродные пленки, тонкие — Получение; диссертации; углеродные пленки; тонкие пленки; синтез; плазменное осаждение; отжиг; атомы углерода; плазма метана; аморфные гидрогенизированные пленки; термообработка; инертные газы; твердотельные подложки; морфология поверхности; электрические свойства; оптические свойства; атомно-силовая микроскопия; сканирующая электронная микроскопия; рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия; спектроскопия комбинационного рассеяния света; ультрафиолетовая спектроскопия; инфракрасная спектроскопия |
| Дата публикации: | 2023 |
| Библиографическое описание: | Прокопьев, А. Р. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 / А. Р. Прокопьев ; Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова ; науч. рук. Е. П. Неустроев. — Якутск, 2023. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973 |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты и диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| dis00578.pdf | 3,58 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.