1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorВоронина, Екатерина Дмитриевнаru
dc.date.accessioned2024-10-28T12:04:07Z-
dc.date.available2024-10-28T12:04:07Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationВоронина, Е. Д. Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме / Е. Д. Воронина ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 111-113.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785-
dc.description.abstractCuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parametersen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectполупроводникиru
dc.subjectp-n диодыru
dc.subjectфотокатализаторыru
dc.subjectстехиометрияru
dc.subjectскорость осаждения покрытийru
dc.subjectаргонru
dc.subjectкислородru
dc.titleВлияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режимеru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage111-
local.description.lastpage113-
local.filepathconference_tpu-2023-C21_V1_p111-113.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)672302-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2023-C21_V1_p111-113.pdf697,13 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons