1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorСиделёв, Дмитрий Владимировичru
dc.contributor.authorВоронина, Екатерина Дмитриевнаru
dc.date.accessioned2024-10-28T12:04:07Z-
dc.date.available2024-10-28T12:04:07Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationВоронина, Е. Д. Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы / Е. Д. Воронина ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 114-116.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786-
dc.description.abstractThis study aims to identify the possibility of deposition of yttrium oxide coatings using reactive magnetron sputtering in the metallic mode. There is found that sputtering yttrium target in the metallic mode can be done using dual magnetron sputtering of yttrium and copper targetsen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectоксид иттрияru
dc.subjectоптические характеристикиru
dc.subjectтеплозащитные покрытияru
dc.subjectоптические волноводыru
dc.subjectионы плазмыru
dc.subjectаргонru
dc.subjectкислородru
dc.titleПоиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системыru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage114-
local.description.lastpage116-
local.filepathconference_tpu-2023-C21_V1_p114-116.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)672304-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2023-C21_V1_p114-116.pdf717,42 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons